日前，合肥高新区投资平台合肥高投投资企业合肥御微半导体技术股份有限公司（以下简称“御微半导体”）全新自研的国内首款可完整覆盖90nm至28nm制程节点的掩模图形缺陷检测设备Raptor-600正式发运国内头部晶圆厂。Raptor-600顺利发运，标志着御微半导体扩充了掩模图形缺陷检测赛道的产品线，完整覆盖了从通用成熟制程到高端28nm的节点。

　　掩模版是芯片光刻环节的核心“母版”，它的品质直接左右整片晶圆的生产良率。细微的图形缺陷，都可能造成整批晶圆全部报废。针对28nm及以上制程掩模版严苛的检测标准，Raptor-600可分辨精细图形、规避辅助图形干扰，快速检出图形缺损、表面污染物等各类问题，同时适配掩模制造厂、晶圆厂两大场景，满足全流程品质管控需求。

　　作为国家级专精特新“小巨人”企业，御微半导体专注集成电路光学量检测装备研发与集成，面向芯片制造、先进封装、化合物半导体、新型显示等领域，提供高端设备与一体化解决方案，产品广泛应用于芯片制造、光罩制造等关键环节，已服务于多家国内头部客户，致力于跻身全球半导体检测设备第一梯队。

　　作为合肥市集成电路产业发展的核心承载区，合肥高新区持续抢抓半导体、集成电路等硬科技产业发展机遇，加速形成涵盖集成电路设计、封装测试、核心工具、装备材料、制造和配套服务全产业链发展格局。作为区属投资平台，合肥高投坚持围绕区域重点产业发展方向，构建上下游协同发展产业生态，支持企业发展，下一步，合肥高投将持续培育更多集成电路产业链的优质企业，增强区域创新活力，推动集成电路产业高质量发展，共赴“芯”光灿烂。