作者:来源:发布时间:2026/07/10
7月8日,2025年度国家科学技术进步奖获奖名单正式揭晓。上海御微半导体技术有限公司(以下简称“上海御微半导体”)作为第二单位参与完成的“量子化光晶格常数的纳米计量关键技术及集成电路应用”项目荣获一等奖!
该项目由同济大学牵头,联合合肥高新区投资平台合肥高投投资企业合肥御微半导体技术有限公司子公司上海御微半导体,以及中国计量科学研究院、桂林电子科技大学、上海市计量测试技术研究院等单位共同完成,标志着我国在纳米计量领域取得里程碑式突破。
纳米计量是实现纳米制造准确性的前提和保障,“量子化实物标准的纳米计量关键技术”通过光晶格势阱操控冷原子形成皮米精度的长度和角度标准,并通过集成电路制造技术将上述标准固化为产业用标准片。历经二十余年攻关,项目团队制造出一系列纳米级长度和角度国家一级标准物质,为集成电路等纳米制造领域提供了用于仪器校准与标定的“精准标尺”。
御微半导体将这项国家级技术成果与自身业务深度融合,将全面提升产业价值。该技术的推广应用为纳米制造领域提供了精确测量的基础技术,可用于标准片的设计研发,并对标准片进行测试和验证,有效缩短了纳米计量传递链,提升了产业扁平化水平,适用于解决集成电路制造中的实际应用问题。
近年来,合肥高新区加快推进“科创策源区”建设,全面抢抓半导体、集成电路等硬科技产业发展机遇,不断夯实科技创新根基。合肥高投将自身发展融入区域产业发展的浪潮中,精准发掘并持续赋能了御微半导体等具备核心硬科技及“链主”潜力的优质企业,精准服务企业发展全生命周期,推动创新链、产业链、资金链、人才链深度融合,助力高新区打造国内领先、具有国际竞争力的产业高地。