御微半导体i12-F300超精密晶圆缺陷检测设备

　　近日，合肥高投新经济发展基金投资企业合肥御微半导体技术有限公司（以下简称“御微半导体”）首批i12-F300超精密晶圆缺陷检测设备成功发运，顺利交付国内集成电路领域重要客户。

　　i12-F300设备为御微半导体自主研发，以多模式的高精度光学成像、高稳定性成像控制、高效率数据处理系统、多类型物料兼容为基础，结合公司独有的智能检测+分类算法和软件系统，可提供比现有同等产品更强大的缺陷检测能力和更高的检测效率，满足不同集成电路客户工艺环节中细微缺陷管控需求。

　　在晶圆制造环节，i12-F300设备可应用于光刻后、蚀刻后、化学研磨后、薄膜沉积等工艺后的缺陷检测，实现快速工艺监测和问题反馈，降低客户良率损失；同时可搭配御微半导体已有边缘、背面检测模块，实现对晶圆正面、背面、边缘全方位检测和质量管控。设备另可实现深亚微米检测精度，补充客户产线昂贵纳米检测设备产能，降低使用成本；也可用于化合物半导体、先进封装等领域，对晶圆产品实现高精度管控，达到降本增效、零缺陷的目标。

　　御微半导体是一家以技术和市场双轮驱动，为集成电路制造提供先进装备的科创企业。公司面向集成电路制造、先进封装、化合物半导体、新型显示等领域，为客户提供具有竞争力的产品及技术解决方案。公司聚焦于集成电路光学量检测系统设计与系统集成，围绕集成电路装备自主化，已经形成了服务于芯片制造、光罩制造、晶圆衬底制造、基板制造四大领域九大类量测及检测产品。