合肥市纳诺半导体有限公司成立于 2021 年 7 月,致力于解决芯片国产化的“卡脖子”问题,研究半导体 7nm 晶圆生产检测设备国产化。公司主要研发 12 寸晶圆 7nm 缺陷光学检测设备系统,技术达到世界先进水平。
目前合肥、常州、上海三个城市共同组建研发、生产和销售团队,位于常州的全资子公司,江苏三米科思半导体设备有限公司(Semix)占地总面积约 3000 平方米,建设了用于研发和生产的百级超净净房,预计三年内年产值可达 3 亿元人民币。
按照产品研发的进度发展,公司于2022年7月预计完成Alpha样机的开发,并计划于 2025 年进入批量生产。
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