作者：费丽丽来源：风险管理部发布时间：2022/12/31
近日，合肥高投新经济发展基金投资企业合肥御微半导体技术有限公司（以下简称“御微半导体”）首台晶圆套刻量测设备HOUYI产品发运仪式圆满举行。HOUYI产品的推出，代表着御微半导体在光刻制程核心装备版图的进一步完善，实现了晶圆检测、掩模版检测及晶圆量测三大领域的产品布局。
御微半导体自主研发的晶圆套刻量测设备HOUYI产品，可满足前道制程套刻量测要求。
御微半导体晶圆套刻量测设备HOUYI
HOUYI产品名称源于中国古代神话中射日之神射手后羿， HOUYI产品线精准灵敏、重复性高，同时作为一款国产化半导体核心装备，HOUYI产品线采用御微半导体自研关键元件。
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