作者：费丽丽来源：风险管理部发布时间：2022/08/01
日前，合肥高投新经济发展基金投资企业合肥御微半导体技术有限公司（以下简称“御微半导体”）首台全自动掩模缺陷检测设备i6R-300顺利发运国内集成电路先进制程生产线。
御微半导体i6R-300掩模缺陷检测设备
御微半导体自主研发的i6R-300掩模缺陷检测设备是基于已被业界广泛认可i6R-100和i6R-200掩模缺陷检测设备的进一步升级开发。i6R-300采用高精度明暗场双检测系统，可以快速高效地同时检测光掩模多个表面上的细微缺陷，并提供缺陷分类、全景检视等功能，为工艺过程控制提供关键数据。为提高生产效率，i6R-300检测设备满足完整的SEMI 自动化标准，可灵活对接OHT和AGV等工厂自动化工具。除检测功能外，i6R-300还提供了光罩清洁和多类型掩模支持的一站式解决方案，灵活满足不同工艺管控需求。
御微半导体是一家以市场和技术双轮驱动，为集成电路制造提供先进装备的科创企业，以集成电路量检测设备为主营业务，致力于在集成电路制造、先进封装、化合物半导体、新型显示等领域的超高精度量检测关键技术研发。公司聚焦于集成电路光学量检测系统设计与系统集成，围绕集成电路装备自主化，已经形成了掩模版检测、晶圆检测、泛半导体检测、晶圆测量等4大领域6大类量检测产品。
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