御微半导体首台掩模版图形缺陷检测设备Raptor-500

御微掩模全生命周期质量控制产品布局 

　　日前，合肥高投新经济发展基金投资企业合肥御微半导体技术有限公司（以下简称“御微半导体”）自主研发的国内首台满足90nm以上制程掩模图形缺陷检测设备Raptor-500正式发运并交付国内领先掩模版制造厂商。该设备为成熟制程掩模质量控制提供了极具竞争力的国产化解决方案，标志着御微半导体在核心检测设备领域实现关键突破。

　　此前，御微半导体先后发布了i6R系列产品（掩模出货及光刻前后质量控制）及Halo系列产品（空白基版质量控制），并已逐步成为行业相关工序的标杆装备，本次发运的Raptor-500是御微半导体掩模质量控制的第三款核心设备。Raptor-500与i6R及Halo产品协同，提供从基版到成品的“一站式掩模零缺陷”解决方案。Raptor产品系列采用模块化架构设计兼具高性能，高产率及高延展性，可分担高成本设备产能压力，帮助客户降低运营成本，并可长期为客户制程升级提供价值。

　　御微半导体总部于2021年7月正式落户合肥高新区，聚焦半导体检测与量测设备研发，致力于为晶圆制造、掩模版制造及封装领域提供高精度解决方案。目前，公司已获多项国家级专精特新企业认证，产品覆盖国内主流半导体厂商，设备累计出货量超百台。