近日，新经济发展基金投资企业合肥御微半导体技术有限公司（以下简称“御微半导体”）首台i6R-210掩模全景质量管理设备成功发运并顺利交付国内先进掩模版厂商。

i6R-210掩模全景质量管理产品

　　本次交付的i6R-210掩模全景质量管理产品是御微i6R产品线的第三代产品，在保留了原系列产品高产率、高精度明暗场检测系统等技术优势的基础上，通过引入先进技术工艺，成功将设备的应用场景从晶圆厂黄光区延伸至光罩室，并且可以使用在掩模版生产厂。设备能实现产品缺陷检测、自动倒版、掩模版双面清洗等多种功能，将更好地帮助掩模版生产商减少因人为干预而带来的污染，提高客户掩模产品的全生命周期质量管控。

　　i6R-210掩模全景质量管理设备是御微掩模系列产品中的核心一环，未来御微将持续投入研发，针对半导体生产流程开发出满足客户需求的检测产品，为下游半导体客户持续提供一站式掩模过程控制综合解决方案。

　　2021年年中，御微总部在合肥高新区正式落户，次年1月7日正式投产。2022年4月10日，御微成功发运合肥首台硅片全景检测产品。